ФИЗИКА

Отжиг имплантированных слоев кремния излучением импульсного $\mathrm{CO}_2$-лазера

М. Ф. Галяутдинов, Ю. К. Данилейко, М. М. Зарипов, А. А. Маненков, А. В. Сидорин, И. Б. Хайбуллин, Е. И. Штырков

Физический институт им. П. Н. Лебедева АН СССР, г. Москва

УДК: 621.315.592

Статья представлена к публикации: A. М. Прохоров
Поступило: 10.11.1980