ФИЗИКА

Применение металлорезинатных пленок в электронной и фотолитографии

В. П. Агеев, И. В. Бараненков, К. А. Валиев, Л. В. Великов, В. И. Конов, А. И. Маслаков, В. М. Мельников, A. М. Прохоров

Институт общей физики АН СССР, г. Москва

УДК: 621.382

Поступило: 03.03.1987