ФИЗИКА

Исследование полупроводниковых структур методами акустической и электронной термоакустической микроскопии

Ю. В. Гуляев, М. А. Кулаков, А. И. Морозов, Э. И. Рау

Институт радиотехники и электроники АН СССР, г. Москва

УДК: 621.385.833:534.6.88

Поступило: 28.04.1987