МАТЕМАТИЧЕСКАЯ ФИЗИКА

Микротомография полупроводниковых структур в режиме наведенного тока

С. К. Лихарев, Э. И. Рау, В. П. Трифоненков, А. Г. Ягола

Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова

УДК: 616-073.756.8 621.385.833

Статья представлена к публикации: А. Н. Тихонов
Поступило: 03.05.1988