ФИЗИКА

Кинетические уравнения послойного эпитаксиального роста

В. И. Трофимов, Б. К. Медведев, В. Г. Мокеров, А. Г. Шумянков

Институт радиотехники и электроники РАН, г. Москва

УДК: 539.216.2:539.23

Поступило: 29.08.1995