Физика твердого тела,
2024, том 66, выпуск 3,страницы 370–376(Mi ftt10254)
Полупроводники
Исследование кристаллической структуры, фазового состава и магнитных свойств текстурированных пленок магнетита, выращенных методом реактивного осаждения
Аннотация:
Изучение магнитных пленок, выращенных на окисленной поверхности кремния, представляет интерес с точки зрения создания туннельных контактов “ферромагнитный металл/диэлектрик” и реализации транспорта спин-поляризованных электронов. В этой работе были получены поликристаллические пленки магнетита с текстурой путем реактивного осаждения железа на поверхность SiO$_2$/Si(001) в атмосфере молекулярного кислорода. Методами рамановской спектроскопии и рентгеновской дифракции проведено исследование пленок толщиной 15–250 nm. Из анализа полученных экспериментальных данных установлено, что в результате реактивного осаждения происходит рост кристаллитов магнетита преимущественно двух ориентаций – (311) и (100). Постоянная решетка кристаллитов не зависит от толщины пленки, однако ее значение на $\sim$1% меньше, чем для монокристаллического магнетита. Исследования магнитных свойств показали, что магнитное поведение образцов сильно изменяет свой характер в образцах с толщиной пленки магнетита менее 70 nm.