RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика твердого тела // Архив

Физика твердого тела, 2024, том 66, выпуск 3, страницы 370–376 (Mi ftt10254)

Полупроводники

Исследование кристаллической структуры, фазового состава и магнитных свойств текстурированных пленок магнетита, выращенных методом реактивного осаждения

В. В. Балашевab, А. В. Шевлягинa, А. В. Приходченкоb, Д. А. Цукановab, А. Ю. Самардакb, М. И. Собировb, А. В. Огневbc, А. С. Самардакbc

a Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН, г. Владивосток
b Институт наукоемких технологий и передовых материалов, Дальневосточный федеральный университет, г. Владивосток
c Сахалинский государственный университет, Южно-Сахалинск, Россия

Аннотация: Изучение магнитных пленок, выращенных на окисленной поверхности кремния, представляет интерес с точки зрения создания туннельных контактов “ферромагнитный металл/диэлектрик” и реализации транспорта спин-поляризованных электронов. В этой работе были получены поликристаллические пленки магнетита с текстурой путем реактивного осаждения железа на поверхность SiO$_2$/Si(001) в атмосфере молекулярного кислорода. Методами рамановской спектроскопии и рентгеновской дифракции проведено исследование пленок толщиной 15–250 nm. Из анализа полученных экспериментальных данных установлено, что в результате реактивного осаждения происходит рост кристаллитов магнетита преимущественно двух ориентаций – (311) и (100). Постоянная решетка кристаллитов не зависит от толщины пленки, однако ее значение на $\sim$1% меньше, чем для монокристаллического магнетита. Исследования магнитных свойств показали, что магнитное поведение образцов сильно изменяет свой характер в образцах с толщиной пленки магнетита менее 70 nm.

Ключевые слова: кремний, магнетит, текстура, реактивное осаждение, рамановская спектроскопия.

Поступила в редакцию: 29.11.2023
Исправленный вариант: 29.11.2023
Принята в печать: 17.01.2024

DOI: 10.61011/FTT.2024.03.57477.265



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025