Тонкие пленки алюминия, нанесенные на охлаждаемые жидким азотом подложки

Исследована микроструктура пленок алюминия, термически напыленных на монокристаллические кремниевые подложки при температуре жидкого азота и при комнатной температуре. Приведены результаты исследования морфологии и микроструктуры пленок методами рентгеновской дифракции, атомно-силовой и электронной микроскопии. Показано, что среднеквадратичная шероховатость снижается с 0.4–1.2 до 0.19–0.34 nm при охлаждении подложки от комнатной температуры до температуры жидкого азота.