Фазовый переход при термообработке в пленке TiO$_2$, полученной методом атомно-слоевого осаждения

Описывается процесс получения тонкой пленки TiO$_2$ на кремниевой подложке с использованием метода атомно-слоевого осаждения. Изучается процесс фазового перехода в таких пленках при различных режимах термообработки от полиморфа анатаза к рутилу. Методы комбинационного рассеяния света, рентгеноструктурного анализа и атомно-силовой микроскопии применяются для анализа структурных изменений и морфологии поверхности пленок до и после термической обработки. Аналитические данные подтверждают, что при термическом атомно-слоевом осаждении с использованием в качестве прекурсоров тетраизопропоксида титана и воды происходит рост TiO$_2$ полиморфа анатаз, при этом пленка является поликристаллической. При термической обработке полный переход из анатаза в рутил у пленки толщиной в 1.5 mkm на кремневой подложке происходит при выдержке в течение от 2 до 3 h при 1000$^\circ$C.