Особенности осаждения оксида алюминия на массив нитевидных нанокристаллов ITO

В данной работе исследовался процесс осаждения оксида алюминия на пленки, образованные нитевидными нанокристаллами ITO, а также влияние защитного слоя на оптические характеристики покрытия. На начальных стадиях пленка Al$_2$O$_3$ покрывает тонким слоем поверхность отдельных нитевидных нанокристаллов, сохраняя градиентный характер показателя преломления покрытия. По мере увеличения слоя Al$_2$O$_3$ вследствие разброса нанокристаллов ITO по высоте формируется рельеф, образуемый куполообразными выпуклостями на поверхности получаемой пленки с характерным масштабом до 1 mkm, что позволяет создать эффективно рассеивающую свет структуру.