RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика твердого тела // Архив

Физика твердого тела, 2025, том 67, выпуск 1, страницы 180–186 (Mi ftt10705)

XVI Российская конференция по физике полупроводников, 7-11 октября 2024 г., Санкт-Петербург
Физика поверхности, тонкие пленки

Численная модель для исследования 3$D$-островковых пленок методом электронной Оже-спектроскопии. Система Sm–Si(111)

В. Е. Ремеле, М. В. Кузьмин

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Предложена модель для расчета интенсивности сигналов в электронной Оже-спектроскопии для тонкопленочных структур, формируемых по механизму Фольмера–Вебера, Странского–Крастанова или близкому к ним. Модель может применяться для обработки экспериментальных результатов и дает возможность получать сведения о плотности и форме трехмерных островков. Проведена ее апробация для реакционно-способной системы Sm–Si(111). Установлено, что в этой системе изменение структуры смачивающего слоя, т. е. переход от реконструкции $\sqrt{3}$ к реконструкции (5 $\times$ 1) сопровождается увеличением аспектного отношения кристаллитов дисилицида самария более чем в семь раз. Предложено физическое объяснение указанной трансформации.

Ключевые слова: тонкие пленки, концентрационная зависимость оже-сигнала, механизм роста, трехмерные островки, смачивающий слой, дисилицид самария.

Поступила в редакцию: 29.10.2024
Исправленный вариант: 28.12.2024
Принята в печать: 05.01.2025

DOI: 10.61011/FTT.2025.01.59786.287



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025