Обработка сигналов, полученных в условиях модуляции рабочей температуры кондуктометрического сенсора на базе PdO

Представлены результаты испытаний и их анализ для тонких (30 nm) пленок PdO в качестве сенсоров на озон в воздухе, работающих в режиме гармонической температурной модуляции и экстракции полезного сигнала. Образцы демонстрируют высокую чувствительность к $ppb$-концентрациям озона при нечувствительности к двуокиси азота вплоть до 10 $ppm$. Хорошая воспроизводимость сигналов позволила простым вычитанием выделить вклад аналита в исходном кондуктометрическом отклике, и построить многомерную калибровку, основываясь на его особенностях экстрагированного отклика и его Фурье-преобразовании.