Формирование острия апертурных кантилеверов для сканирующей ближнепольной оптической микроскопии методом локального ионно-стимулированного осаждения

Представлена новая методика формирования острия зондов для сканирующей ближнепольной оптической микроскопии. Проведены экспериментальные исследования по формированию острия методом локального ионно-стимулированного осаждения углерода. Установлены значения технологических параметров, обеспечивающих высокую точность формирования и повторяемость результатов процесса. Проведены исследования параметров зондов при работе в режиме атомно-силовой микроскопии, исследовано пропускание оптического излучения через апертуру зонда.