Исследование режимов формирования структур для метаповерхностей и конфокальных оптических систем

Получены структуры поликристаллический кремний/оксид кремния/подложка кремния методом плазменно-химического осаждения из газовой фазы. Исследовано влияние мощности разряда, давления газовой смеси, а также температуры вакуумного отжига на шероховатость, механические напряжения и показатель преломления пленок. Показано, что вакуумный отжиг позволяет существенным образом корректировать значения параметров материалов. Установлены условия формирования структур, подходящие для дальнейшего изготовлении метаповерхностей и оптических элементов и систем на их основе.