Эффект “стабилизации” кислородного содержания в пленках La$_{0.8}$Sr$_{0.2}$MnO$_{3-\delta}$ при термообработке на воздухе

В серии эпитаксиальных пленок La$_{0.8}$Sr$_{0.2}$MnO$_{3-\delta}$ толщиной 12–75 nm на NdGaO$_3$ подложках косвенным методом количественно изучена вариация кислородного содержания в процессе их термообработки на воздухе в диапазоне температур 873–1073 K. Приведены экспериментальные и расчетные временные зависимости изменения кислородного содержания в пленках с учетом эффекта неоднородной диффузии кислорода по толщине пленок, позволяющие сделать оптимальный выбор температуры и продолжительности процедуры термообработки. В пленках толщиной 25–75 nm обнаружен эффект “стабилизации” кислородного содержания, свидетельствующий о наличии энергетического барьера, препятствующего встраиванию избыточного атома кислорода в приповерхностный слой пленки при оптимальных условиях термообработки.