Распыление и формирование рипплов на кристалле LiNbO$_3$ под действием кластерных ионов

Работа посвящена формированию поверхностных структур на монокристаллах ниобата лития. Проведено исследование топографии его поверхности после распыления пучком газовых кластерных ионов. Закономерности возникновения на поверхности волнообразного рельефа (рипплов) проанализированы с использованием подхода, основанного на функции спектральной плотности мощности; обсуждается эволюция рипплов с увеличением флюенса облучения, а также влияние энергии кластерных ионов. Показано, что величина коэффициента распыления уменьшается с ростом шероховатости поверхности, указаны возможные причины этого явления. Проведено сравнение локального пьезоотклика исходной поверхности и поверхности с развитой топографией.