Полупроводники
Влияние примесей кислорода и углерода на параметры кремниевого кластера при наличии вакансии
Н. Т. Сулаймановa,
Ш. М. Махкамовa,
М. Ю. Ташметовa,
Ш. М. Назармаматовa,
С. Р. Эгамовa,
А. К. Рафиковa,
М. Н. Эрдоновa,
Х. М. Холмедовb a Институт ядерной физики АН Республики Узбекистан, Ташкент, Узбекистан
b Ташкентский университет информационных технологий им. Аль-Хоразмий, Ташкент, Узбекистан
Аннотация:
Методом компьютерного моделирования в приближении к методу функционала плотности изучено влияние вакансии на структуру кремниевых кластеров Si
$_{29}$H
$_{36}$ и Si
$_{87}$H
$_{70}$, модифицированных внедрением атомов O и C. Показано, что в без-вакансионном кластере при одновременном внедрении атомов С и О образуется комплекс
О
$_\mathrm{i}$–Si–C
$_\mathrm{i}$, а в кластерах с вакансией формируются комплексы типа 3H + C
$_\mathrm{i}$+Si и Si–O–V. Определено, что местоположения углерода и кислорода в большей степени зависит от размера нано-кластера, при этом в кластерах Si
$_{80}$Si
$_{70}$ кислород, взаимодействуя с вакансией, образует
А-центр. Выявлено, что глубокие уровни могут появиться за счет изменения электронных состояний кремниевого кластера, обусловленных взаимодействием фоновых примесей с вакансией в элементарной ячейке кластера кремния. Установлено, что при одновременном внедрении атомов О и С, в зависимости от размера нано-кластеров и при наличии междоузельных атомов кремния и водорода, они приводят к формированию слабо взаимодействующих дефектных комплексов и миграции атомов водорода вовнутрь нано-кластера.
Ключевые слова:
кремний, нано-кластер, дефект, вакансия, технологические примеси, компьютерное моделирование, структура, кристаллическая решетка, ab initio методы расчета, энергетические уровни, запрещенная зона.
Поступила в редакцию: 11.07.2024
Исправленный вариант: 05.12.2024
Принята в печать: 12.12.2024
DOI:
10.61011/FTT.2025.02.59976.187