С. В. Булярский, М. С. Молоденский, П. Е. Львов, А. А. Павлов, Ю. В. Ануфриев, Ю. П. Шаман, Г. Г. Гусаров, К. А. Модестов, А. В. Сыса, А. Р. Шевченко, “Влияние избыточного потока водорода в реакторе на PECVD рост углеродных нанотрубок”, Физика твердого тела, 2025, том 67, выпуск 2,страницы 350

Системы низкой размерности

Влияние избыточного потока водорода в реакторе на PECVD рост углеродных нанотрубок

С. В. Булярский, М. С. Молоденский, П. Е. Львов, А. А. Павлов, Ю. В. Ануфриев, Ю. П. Шаман, Г. Г. Гусаров, К. А. Модестов, А. В. Сыса, А. Р. Шевченко

Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН, Москва, Россия

Аннотация: Изучено влияние величины потока водорода на парофазный синтез углеродных нанотрубок в плазме газового разряда. Установлено, что увеличение потока водорода в реакторе снижает температуру плазмы и увеличивает количество дефектов в синтезированных нанотрубках. Анализ термодинамики синтеза показывает, что увеличение концентрации водорода снижает активность катализатора и уменьшает количество углерода, поступающего к растущей нанотрубке, что и приводит к увеличению ее дефектности.

Ключевые слова: углеродные нанотрубки, синтез, дефекты.

Поступила в редакцию: 10.01.2025
Исправленный вариант: 10.01.2025
Принята в печать: 11.01.2025

DOI: 10.61011/FTT.2025.02.59991.8-25