Фазовые превращения в слоях ниобия при имплантации ионов азота и сверхпроводящие свойства системы Nb$-$N

Пленки ниобия толщиной ${800\div4000}$ Å с ${T_{c}=9}$ K и отношением сопротивлений ${R_{300\,\text{K}}/R_{10\,\text{K}}=11\div12}$ бомбардировались ионами N$^{+}_{2}$ с энергией 60 кэВ до Д = 7${{}\cdot10^{17}\,\text{см}^{-2}}$ (атомарная доза).
В результате имплантации с различными дозами наблюдалось изменение критической температуры ($T_{c}$) перехода в сверхпроводящее состояние в широком интервале значений. Максимальные значения критической температуры были достигнуты при имплантации с дозой ${5.6\cdot10^{17}\,\text{см}^{-2}}$: ${T^{\text{н}}_{c}=11.6}$ K (по началу перехода) и ${T_{c}=11}$ K. После отжига при температуре ${T=920{-}930^{\circ}}$С были получены образцы с ${T^{\text{н}}_{c}=16.1}$ K и ${T_{c}=15.8}$ K. Исследованы элементный состав и структура образцов. Показано, что совместное использование имплантации и отжига позволяет получать слои со структурой В1.