Синхротронные исследования многослойных нанопериодических структур Si/Mo/Si $\dots$ $c$-Si (100)

Представлены результаты исследования многослойных нанопериодических структур $c$-Si/[Si/Mo]$n$/Si методом спектроскопии ближней тонкой структуры края рентгеновского поглощения с использованием синхротронного излучения. Изменение тонкой структуры спектров XANES Mo $L_{2,3}$ подтверждает формирование силицидной фазы, образующейся на гетерофазных межслойных границах Si/Mo/Si в результате твердофазных взаимодействий между слоями кремния и молибдена.