Исследование микродефектов $D$-типа в монокристаллах кремния

С помощью электронно-микроскопического метода прямого разрешения кристаллической решетки исследована тонкая структура микродефектов $D$-типа, образующихся в монокристаллах кремния при выращивании их методом бестигельной зонной плавки с высокими скоростями роста. Экспериментальные изображения кристаллической решетки кремния с микродефектами $D$-типа получены с помощью просвечивающего электронного микроскопа J$EM$-100C как в светлопольном, так и в темнопольном режимах при оптимальных дефокусировке и толщине кристаллов.
Показано, что микродефекты $D$-типа дают в кристаллической решетке кремния деформацию сжатия, т. е. являются дефектами внедренного типа. Они могут быть дефектами как с относительно регулярной, так и с почти аморфной структурой. Предложена модель образования таких микродефектов с учетом взаимодействия вакансий и собственных межузельных атомов кремния с атомами остаточных примесей кислорода и углерода.