Краткие сообщения

Влияние давления на скорость рекристаллизации аморфизованного слоя кремния при постимплантационном отжиге

А. С. Васин, В. И. Окулич, В. А. Пантелеев, Д. И. Тетельбаум

Горьковский государственный университет им. Н. И. Лобачевского

УДК: 621.3I5.592

Поступила в редакцию: 31.07.1984