Рентгеновские спектры отражения и оптические постоянные SiC и Si$_{3}$N$_{4}$

Представлены впервые полученные спектры отражения $\alpha$-SiC и аморфной пленки Si$_{3}$N$_{4}$ в области энергий квантов 80$-$180 эВ с использованием тормозного излучения рентгеновской трубки спектрометра РСМ-500. Рассчитаны оптические постоянные указанных соединений на основе экспериментальных данных. Показано преимущество методики отражения перед традиционными методиками абсорбционной рентгеновской спектроскопии.