RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика твердого тела // Архив

Физика твердого тела, 1985, том 27, выпуск 4, страницы 991–996 (Mi ftt1880)

Рентгеновские спектры отражения кристаллического $\alpha$-кварца и аморфных пленок SiO$_{2}$ и SiO$_{x}$

Е. О. Филатова, А. С. Виноградов, Т. М. Зимкина, И. А. Сорокин

Ленинградский государственный университет им. А. А. Жданова

Аннотация: Приводится экспериментальное исследование методом отражения процесса формирования тонкой структуры спектров кислородных соединений кремния. В результате рассмотрения тонкой структуры спектров отражения $\alpha$-кварца, аморфной пленки SiO$_{2}$, системы Si$-$SiO$_{2}$ и аморфной пленки SiO$_{x}$ обнаруживается определяющая роль ближнего порядка в формировании тонкой структуры спектров отражения.
Приводится расчет глубины проникновения излучения в вещество для ${\vartheta=4^{\circ}}$ с использованием экспериментальных спектров отражения $\alpha$-кварца и сравнение рассчитанной величины с ранее полученной экспериментально.
Приводятся оптические постоянные $n$ и $\mu$ для $\alpha$-кварца и аморфной пленки SiO$_{x}$, рассчитанные с использованием экспериментальных спектров отражения.

УДК: 537.531:535.34

Поступила в редакцию: 20.07.1984



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024