Влияние собственного электрического поля на диффузию элементов у группы в кремнии

На основе микроскопического подхода получены уравнения, описывающие диффузию замещающих примесей в кремнии, и которых учтены примесно-вакансионное взаимодействие и различные зарядовые состояния свободных вакансий и комплексов типа $E$-центров. Показано, что концентрационная зависимость коэффициента диффузии и так называемый вакансионный ветер — полевые эффекты наряду с собственно дрейфом заряженной примеси в поле, который не ускоряет, как обычно считается, а замедляет диффузию. Проведен расчет коэффициента диффузии в поле на примере фосфора. Получена монотонно растущая зависимость $D(N)$.