Сравнительное ЭПР и DLTS исследование процесса отжига дислокационных оборванных связей в кремнии

Методами DLTS и ЭПР проведено сравнение кинетики изменения в процессе изотермического отжига числа дырок, захватываемых в различные дислокационные состояния, и числа спинов в образцах кремния с дислокациями. Найдено, что уменьшение сигнала ЭПР при отжиге происходит пропорционально числу дырок, захватываемых на уровень ${E_{v}+0.38}$ эВ, доминирующий в спектрах DLTS и ассоциируемый с Д-центрами — ненасыщенными валентными связями в ядрах дислокаций. Проведено машинное моделирование процесса отжига дислокационных спиновых цепочек в рамках моделей случайного «точечного» отжига и отжига по механизму реконструкции дислокационных ядер. Сравнение расчетных DLTS и ЭПР зависимостей с экспериментальными данными позволяет сделать вывод, что механизмом отжига дислокационных образованных связей является коллективная перестройка ядер дислокаций.