Краткие сообщения

Восстановление структуры слоев карбида кремния после ионной имплантации

Э. Е. Виолин, К. Д. Демаков, А. А. Кальнин, Ф. Нойберт, Е. Н. Потапов, Ю. М. Таиров

Ленинградский электротехнический институт им.Ульянова (Ленина)

УДК: 541.7:546.281'261

Поступила в редакцию: 16.02.1984

Реферативные базы данных:

•