Механизм адсорбции кислорода на тантале

Предложен механизм адсорбции и растворения кислорода в тантале. Решено уравнение диффузии кислорода по вакансиям, образованным ионным травлением в приповерхностном слое. Сравнением теоретически рассчитанных кривых диффузии кислорода с экспериментальными определен коэффициент диффузии. Получена зависимость коэффициента аккомодации атомов кислорода от степени покрытия.