Исследование спектров дислокационной фотолюминесценции при отжиге деформированных образцов кремния

Исследовано поведение спектров дислокационной фотолюминесценции (ДФЛ) при изохронном отжиге образцов кремния. Установлено, что поведение отдельных линий спектра, соответствующих математическому разбиению спектра на гауссовы кривые, существенно отличается. Предложена модель, связывающая изменения в дислокационной структуре, с перестройкой ДФЛ. Показано, что уменьшение интенсивности одной из полос ДФЛ коррелирует с уменьшением дислокационного сигнала ЭПР при отжиге деформированных образцов.