Оптические постоянные монокристаллического кремния в области энергий квантов 70$-$400 эВ

Оптические постоянные (показатель преломления $n$ и линейный коэффициент поглощения $\mu$ монокристаллического кремния в области энергий квантов 70$-$400 эВ рассчитаны из экспериментальных спектров отражения с помощью дисперсионного соотношения Крамерса–Кронига. Обнаружено, что общий вид спектральных зависимостей $\mu$ и $n$ по числу деталей структуры и их энергетическому положению слабо зависит от того, какой из спектров отражения (4, 8 или $12^{\circ}$) использовался в расчете. Заметное увеличение рассчитанных коэффициентов поглощения $\mu$ при возрастании скользящего угла падения от 4 до $12^{\circ}$ связываается с ростом глубины проникновения излучения в кремний и соответствующим увеличением средней плотности вещества в отражающем приповерхностном слое. При сравнении спектров поглощения — рассчитанного из данных по отражению и полученного методом прямого фотопоглощения — отмечаются идентичность тонкой структуры и наличие сильных различий в интенсивности деталей структуры. Анализируются возможные причины такого несоответствия. Указывается на существование в районе $L_{2, 3}$-края поглощения области аномальной дисперсии показателя преломления, где $n>1$.