Флуктуационный механизм формирования спектра размеров зародышей конденсированной фазы

Предложен механизм формирования спектра размеров островков на ранних стадиях роста тонкой пленки. Механизм основан на том, что при хаотическом распределении по подложке первичных центров роста существует распределение площадей их зон питания, вследствие чего при росте в режиме полной конденсации формируется соответствующее распределение размеров островков. Посредством анализа литературных данных получено распределение площадей зон питания (многоугольников Вороного), из которого выведено выражение для распределения размеров островков. При росте островков в форме полусфер это распределение имеет вид гамма-распределения по объему. На примере островковых пленок золота и резистивных сплавов показано, что полученное распределение хорошо описывает количественно колоколообразное распределение, наблюдаемое на тех ранних стадиях, характеризующихся заполнениями подложки в несколько процентов, где механизм ростовой коалесценции еще не существен.