Микроскопическое рассмотрение влияния упругих напряжений на миграцию замещающих примесных атомов в кремнии

Влияние упругих полей на миграцию замещающей примеси в кремнии исследуется методом многочастичных корреляционных функций дефектов; предполагается вакансионный механизм примесной миграции через посредство комплексов типа $E$-центров. Вакансии и примесные атомы рассматриваются как центры дилатации. Показано, что увеличение коэффициента диффузии в диффузионной зоне, дополнительный диффузионный поток примеси, связанный с перемещением вакансий, и собственно дрейф примесных атомов — суть различные стороны влияния упругих полей. Интерпретация комплексов типа $E$-центров как упругих диполей позволяет предсказать дополнительный эффект, существенный даже в отсутствие градиента анизотропных упругих напряжений, — различие коэффициента диффузии вдоль разных кристаллографических направлений. Проведена количественная оценка рассмотренных эффектов.