Горьковский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Аннотация:
На основе кинетической теории получены уравнения двухкомпонентной диффузии примесей замещения в полупроводниках. Найдены элементы матрицы коэффициентов диффузии и определена их концентрационная зависимость. Рассмотрены возможные механизмы образования и миграции комплексов из разнородных примесных атомов. Результаты согласуются с экспериментом.
Полный текст:
PDF файл (685 kB)