Краткие сообщения

Структурные и композиционные перестройки в карбиде кремния, вызванные ионной имплантацией галлия и высокотемпературным отжигом

К. К. Бурдель, П. В. Варанкин, В. Н. Макаров, А. В. Суворов, Н. Г. Чеченин

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, г. Ленинград

УДК: 621.315.592;546.28'26:039.553

Поступила в редакцию: 29.09.1987

Реферативные базы данных:

•