Поглощение поверхностных акустических волн (ПАВ) в текстурированных пленках гексагональной сингонии

Проведены оценки минимально возможного значения коэффициента поглощения поверхностных акустических волн (ПАВ) в текстурированных пленках ZnO, CdS, AlN, а также аморфных пленках кварца. Оценивается собственное (вязкостное и термоупругое) поглощение и затухание ПАВ, связанное с рассеянием волны отдельными кристаллитами и статистически неровной поверхностью пленки. Получено согласие результатов оценок с экспериментальными данными.