Роль дифракционных явлений в электронной оже-спектроскопии кристаллов

Путем одновременной регистрации оже-электронов, эмиттированных из кристалла вольфрама и атомов кремния, напыленных на его поверхность, осуществлено разделение вкладов в наблюдаемую ориентационную зависимость от дифракции прямого падающего потока первичных электронов и вариаций фона обратнорассеянных электронов. Хорошее количественное согласие полученных данных с результатами многоволновых расчетов в динамической теории дифракции позволяет сделать вывод о возможности прецизионного анализа элементного состава кристаллических твердых тел методом, электронной оже-спектроскопии.