Измерение дифракционного рассеяния рентгеновских лучей при скользящих углах падения с использованием координатного детектора

Газопроточный координатный детектор применен для регистрации кривых дифракции в скользящей геометрии Брэгга–Лауэ. Наряду с использованием рентгенооптической схемы без коллимации по углу Брэгга это позволило перейти к однокристальной схеме и отказаться от вращения образца в процессе съемки. Показана высокая чувствительность поверхностного брэгговского пика к наличию на поверхности аморфной пленки. Предложено использовать регистрируемые кривые для одновременного измерения толщины аморфной пленки и восстановления переходного слоя методом асимптотической брэгговской дифракции.