Поверхностное сопротивление сверхпроводниковых пленок NbN

Исследованы ВЧ$-$СВЧ свойства гранулированных сверхпроводниковых пленок NbN, полученных методом ионно-плазменной технологии на подложках из Si и SiO$_{2}$, $T_{c}$ пленок 7.5$-$14.3 K, ${\rho= 10^{-5}\div 10^{-4}\,\text{Ом}\cdot\text{м}}$, ${j_{c}=10^{8}\div10^{9}\,\text{А/м}^{2}}$. Проведены измерения активной части поверхностного импеданса пленок в сверхпроводящем состоянии (${T=4.2}$ K) на частотах 0.03$-$0.3, $5{-}8$, ${\sim60}$ ГГц и в нормальнопроводящем состоянии (${T=300}$ K) в диапазоне частот 0$-$1 ГГц. Частотная зависимость ВЧ$-$СВЧ поверхностного сопротивления в сверхпроводящем состоянии не соответствует частотной зависимости, следующей из известных теорий поверхностного импеданса сверхпроводников. Результаты измерений на постоянном токе свидетельствуют о существовании межгранульной структуры пленок, обладающих джозефсоновскими свойствами. ВЧ$-$СВЧ потери в сверхпроводящем состоянии обусловлены джозефсоновскими явлениями в межгранульных контактах.