Исследование электрического пробоя некристаллического окисла тантала

Представлены результаты исследования электрического пробоя анодного окисла тантала в постоянном поле. Определены статистические параметры пробоя и их зависимость от величины и полярности приложенного напряжения и температуры образца. Получены полевые и температурные зависимости времени запаздывания пробоя $\tau$ в диапазоне времен $10^{-6}{-}10^{2}$ с. Показано, что экспериментальные зависимости $\tau(E)$ спрямляются в координатах $\lg\tau\div E^{-1}$. Определена зависимость энергии активации процесса пробоя от величины электрического поля. Проведено сопоставление некоторых моделей пробоя с экспериментальными результатами.