RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика твердого тела // Архив

Физика твердого тела, 1989, том 31, выпуск 9, страницы 101–108 (Mi ftt5614)

Электронная структура границ зерен в кремнии

А. В. Артемьев, А. А. Богатурьянц, Ю. Х. Векилов, А. В. Николаева, Л. К. Фионова

Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР

Аннотация: С помощью кластерного расширения метода Хюккеля с самосогласованием по зарядам исследовано влияние границ зерен на электронную структуру кремния. Выделены границы зерен, вносящие искажения в электронную структуру материала и электрически пассивные границы. В качестве модели атомной структуры границ зерен использовались данные машинного моделирования. По результатам исследования делается вывод о корреляции степени искажения электронной структуры, вносимого границами зерен, с величиной зернограничной энергии и о немонотонности ее зависимости от значения обратной плотности совпадающих узлов.

УДК: 620.018;669.018

Поступила в редакцию: 22.11.1988
Исправленный вариант: 21.03.1989



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024