Оптические и вибрационные свойства $a$-SiN$_{x}$ : H

Проведен анализ коэффициентов пропорциональности между интенсивностью различных полос поглощения в ИК области и $C_{\text{N}}$ и $C_{\text{H}}$ в пленках $a$-SiN$_{x}$ : H, полученных из газовой смеси N$_{2}$ + SiH$_{4}$ методом тлеющего разряда. Получена линейная зависимость $\Gamma_{eff}$ st -колебаний SiH связей и $\omega_{m}$ соответствующей полосы поглощения от $x$. Изучалось влияние состава на оптические свойства. Приведены зависимости $E_{g}$, $B$, $E_{y}$ и $N_{s}$ от $x$. Сравнение результатов измерения $N_{s}$, полученной ЭПР методом и оптического поглощения в примесной области, позволило найти зависимость сечения фото ионизации $D$-центров от состава.