Связь комбинированного резонанса в пластически деформированном кремнии $n$-типа с дислокационной структурой

Исследованы зависимости сигнала комбинированного резонанса в пластически деформированном монокристалле кремния $n$-типа от условий деформации и последующего отжига. Сделаны предположения относительно конкретного типа дефектов, ответственных за сигнал. Приведены данные о влиянии на спектр комбинированного резонанса электрически нейтральных примесей. Показана возможность изучения некоторых особенностей структуры деформированного кремния при помощи метода комбинированного резонанса.