RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика твердого тела // Архив

Физика твердого тела, 1990, том 32, выпуск 9, страницы 2529–2532 (Mi ftt6354)

Образование периодических структур дислокаций при лазерном воздействии на поверхность полупроводников

А. Ф. Банишев, Б. Л. Володин, В. И. Емельянов, К. С. Мерзляков

Институт проблем лазерных и информационных технологий АН СССР

Аннотация: Обнаружено явление образования периодических структур дислокаций при воздействии мощного (${P\simeq100}$ Вт, ${\lambda=1.06}$ мкм) лазерного излучения на поверхность монокристалляческой пластины кремния. Дано теоретическое объяснение обнаруженного явления на основании развития дислокационно-деформационной неустойчивости. Выводы теории хорошо согласуются с результатами эксперимента.

УДК: 537.311.322

Поступила в редакцию: 23.01.1989
Исправленный вариант: 18.10.1989



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024