Институт проблем лазерных и информационных технологий АН СССР
Аннотация:
Обнаружено явление образования периодических структур дислокаций при воздействии мощного (${P\simeq100}$ Вт, ${\lambda=1.06}$ мкм) лазерного излучения на поверхность монокристалляческой пластины кремния. Дано теоретическое объяснение обнаруженного явления на основании развития дислокационно-деформационной неустойчивости. Выводы теории хорошо согласуются с результатами эксперимента.
УДК:
537.311.322
Поступила в редакцию: 23.01.1989 Исправленный вариант: 18.10.1989