Структура, текстура и старение тонких пленок ZrO$_{2}$

На основе исследования тонких пленок диоксида циркония методами рентгеновской дифракции и электронной микроскопии проанализированы их свойства в зависимости от условий приготовления, наличия стабилизирующих добавок Y$_{2}$O$_{3}$ и времени хранения. Подробно изучено распределение по толщине фазового состава пленок. Установлено, что степень текстурированности и ее распределение по глубине существенно зависят от наличия стабилизатора. Результаты объясняются влиянием атомов иттрия. Их присутствие вызывает механические напряжения, приводящие к пластической деформации пленок и направленной ориентации зерен на стадии их кристаллизации.