RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика твердого тела // Архив

Физика твердого тела, 1991, том 33, выпуск 1, страницы 158–165 (Mi ftt6615)

Зависимость электронно-стимулированной десорбции ионов Li$^{+}$ и Na$^{+}$ от условий формирования пленки кремния на вольфраме

В. Н. Агеев, А. М. Магомедов, Б. В. Якшинский

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, г. Ленинград

Аннотация: С помощью статического магнитного масс-спектрометра изучена электронно-стимулированная десорбция (ЭСД) ионов Li$^{+}$ и Na$^{+}$ с поверхности W-ленты, покрытой кремнием и подвергшейся температурной обработке. В адсорбционной системе W$-$Si$-$Na, содержащей 1 монослой кремния, в интервале температур 400$-$600 K происходит термическая перестройка субмонослойных пленок Na в более выгодное к ЭСД состояние. Выход ионов Na$^{+}$ возрастает также при наличии на поверхности адсорбента пленок дисилицида вольфрама различной толщины. Отжиг подложки при температурах ${T>1200}$ K вызывает изменение структуры монослойной пленки кремния на вольфраме, приводя к более чем 20-кратному увеличению сечения ЭСД ионов Na$^{+}$. С другой стороны, выход ионов Li$^{+}$ при ЭСД из системы W$-$Si$-$Li малочувствителен к состоянию кремниевой пленки. Полученные зависимости ЭСД могут быть объяснены на основе модели, учитывающей релаксацию локального поля поверхности.

УДК: 537.533

Поступила в редакцию: 12.07.1990



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024