Поведение ионов марганца в кремнии: центры внедрения

Рассмотрена проблема поведения примесей переходных элементов группы железа в кремнии на примере примесных ионов марганца, введенных в кремний. Предложенная в работе феноменологическая модель такого центра базируется в отличие от предлагавшихся ранее на представлении о двойном дефекте, состоящем из примесного иона марганца и вакансии кремния. С позиций такой модели проводится рассмотрение поведения междоузельных центров марганца в кремнии. Обсуждаются результаты ЭПР исследований таких центров и параметров глубоких уровней, связанных с их перезарядкой.