Нелинейная диффузия легирующей примеси и декорирование вакансионной компоненты приповерхностного кластера микродефектов в кремнии

Исследовалась структура вакансионно-дислокационного кластера (ВДК) приповерхностного нарушенного слоя монокристаллического кремния методом декорирования примесью бора. Получены значения коэффициента диффузии бора в различных областях ВДК, обусловленные наличием в нем избыточных вакансий. Экспериментально установлено, что вакансии в ВДК распределены по гауссову закону. Предложен механизм нелинейной диффузии в кремнии при низкой концентрации легирующей примеси.