RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика твердого тела // Архив

Физика твердого тела, 1991, том 33, выпуск 11, страницы 3315–3326 (Mi ftt7183)

ЭПР в 2-мм диапазоне и оптическое поглощение собственного дефекта в эпитаксиальных слоях 4$H$ SiC

Ю. А. Водаков, Е. Н. Калабухова, С. Н. Лукин, А. А. Лепнева, Е. Н. Мохов, Б. Д. Шанина

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, г. Ленинград

Аннотация: Исследованы спектры ЭПР на частоте ${\nu=140}$ ГГц и оптического поглощения (ОП) эпитаксиальных слоев (ЭС) 4$H$ SiC, полученных вакуумным сублимационным «сэндвич-методом» с концентрацией азота от $10^{16}$ до $10^{18}\,\text{см}^{-3}$.
Обнаружен и изучен новый парамагнитный центр ЛК-1 в ЭС 4$H$ SiC, имеющих отклонение от стехиометрии в сторону избытка кремния. Исследована динамика изменения спектра ЭПР ЭС 4$H$ SiC в температурном интервале от 4.2 до 34 K. Из сравнения теории с экспериментом определена энергия связи парамагнитного носителя с дефектом (${E=12.8}$ мэВ) для центра ЛК-1. Предложена модель ЛК-1$-$атом кремния в гексагональной позиции углеродного узла, захвативший электрон Si$_{\text{C}}$-антиструктурный дефект.

УДК: 621.315.592

Поступила в редакцию: 17.06.1991



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024