О. И. Коньков, И. Н. Трапезникова, М. П. Власенко, Е. И. Теруков, Г. Н. Виолина, “Влияние температурного отжига на свойства пленок $\alpha$-Si$_{1-x}$C$_{x}$ : H (${0<x\leqslant1}$)”, Физика твердого тела, 1992, том 34, выпуск 1,страницы 326

Краткие сообщения

Влияние температурного отжига на свойства пленок $\alpha$-Si$_{1-x}$C$_{x}$ : H (${0<x\leqslant1}$)

О. И. Коньков, И. Н. Трапезникова, М. П. Власенко, Е. И. Теруков, Г. Н. Виолина

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург

УДК: 621.315,592

Поступила в редакцию: 15.08.1991