Морфологическая стабильность вицинальной поверхности при молекулярной эпитаксии

Построена теория морфологической стабильности вицинальной поверхности при молекулярной эпитаксии в режиме роста с неизменным количеством ступеней и изломов (Kink flow). Изучено взаимовлияние изломов за счет перераспределения диффузионных потоков. При этом оказались существенными одномерная диффузия атомов вдоль ступени и асимметрия встраивания атомов в изломы. Показано, что взаимовлияние изломов является доминирующим фактором стабилизации формы ступени.