Краткие сообщения

Диффузия фосфора в карбиде кремния

Е. Н. Мохов, Е. Д. Горнушкина, В. А. Дидик, В. В. Козловский

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург

УДК: 539.219.3

Поступила в редакцию: 28.01.1992

Реферативные базы данных:

•